氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、溅射气和激光混合气。也用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
氩气可以用来作为色谱法,溅射法,等离子蚀刻和离子注入的载气。它在晶体生长,葡萄栽培和药品包装等方面提供了氩封环境。氩气和氟以及氦气混合后可以应用在准分子激光中。作为绝缘气体,氩气还是提高节能窗的隔热有效性的一种流行方式。
氩气被广泛用于填充和荧光灯灯泡,以防止氧气腐蚀灯泡的灯丝(通常将灯丝加热到很高的温度)。氩气也可用于形成惰性气氛,在进行弧焊,上升的半导体晶体和其他工艺时,需要与其他大气隔绝。
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