氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、溅射气和激光混合气。也用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
氩气是一种化学惰性的稀有气体,但在低温下,有可能与其他原子结合形成非常易碎的化合物,这些化合物在非常低的温度下存在。 由于该元素没有化学反应性,因此被称为稀有气体。
氩气可以用来作为色谱法,溅射法,等离子蚀刻和离子注入的载气。它在晶体生长,葡萄栽培和药品包装等方面提供了氩封环境。氩气和氟以及氦气混合后可以应用在准分子激光中。作为绝缘气体,氩气还是提高节能窗的隔热有效性的一种流行方式。
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